সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং আল্ট্রা - সুনির্দিষ্ট, জারা - প্রতিরোধী চ্যানেলগুলির দাবি করে:
মাত্রিক নির্ভুলতা:
316L স্টেইনলেস স্টিল চ্যানেলগুলি (এএসটিএম এ 276) টাইট সহনশীলতা সহ (± 0.1 মিমি) ওয়েফার র্যাকগুলির জন্য 0.5 মিমি ছাড়পত্র বজায় রাখে, 5 এনএম চিপ উত্পাদনের জন্য সমালোচনামূলক। তাইওয়ানের টিএসএমসি কণা এনট্র্যাপমেন্ট রোধ করতে 80 × 40 × 5 মিমি মাত্রা সহ ইউ - চ্যানেলগুলি ব্যবহার করে।
রাসায়নিক প্রতিরোধের:
2.5% মলিবডেনাম সামগ্রীযুক্ত চ্যানেলগুলি হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড (এইচএফ) এক্সপোজারকে প্রতিরোধ করে, 1, 000+ পিটিং ছাড়াই পরিষ্কার চক্রকে সহ্য করে। দক্ষিণ কোরিয়ার স্যামসুং এগুলি তাদের 300 মিমি ওয়েফার ফ্যাবগুলিতে নিয়োগ করে, সরঞ্জাম প্রতিস্থাপন 70%হ্রাস করে।
পৃষ্ঠ সমাপ্তি:
ইলেক্ট্রো - পালিশযুক্ত চ্যানেলগুলি (আরএ 0.02μm এর চেয়ে কম বা সমান) কণা আঠালোতা হ্রাস করুন, সেমি এফ 20 ক্লাস 1 মান পূরণ করে। জাপানের টোকিও ইলেক্ট্রন এই সমালোচনামূলক প্রয়োজনীয়তার জন্য জেআইএস জি 4305 এসইউ 316 চ্যানেলগুলি নির্দিষ্ট করে।
আঞ্চলিক গ্রহণ:
ইউএস সেমিকন্ডাক্টর প্ল্যান্টগুলি এএসটিএম এ 479 চ্যানেলগুলি 6 মিমি ন্যূনতম বেধের সাথে ব্যবহার করে, যখন চীনের এসএমআইসি জিবি/টি 1220 06 সিআর 17 এনআই 12 এমও 2 চ্যানেলগুলি কস্টের জন্য - সংবেদনশীল 28nm প্রক্রিয়াগুলি পছন্দ করে।